第619章 下一代光源的抉择
作者:三分糊涂    更新:2021-10-30 09:36
  气氛在这一刻骤然冷了下来。
  文森蒂今年已年过六旬,头发和胡须都已经花白,在短暂的惊愕后,怒意瞬间升起。
  他站起身,双手支撑在桌沿上,怒目望着史坦利。
  “我可以认为你这是在对德州仪器进行指控吗?”
  史坦利毫不退缩:“我不是对你进行指控,我只是坦言一个事实。那就是,你们为大陆的远芯提供了多少帮助,你们是明白的!”
  “扯淡吧你!”卡莉的火气腾就上来了:“星海成立在远芯之后,你说我们提供帮助?”
  史坦利冷冷一笑:“星海的最大股东是谁?”
  “是星海基金。”没等卡莉回答,史坦利继续道:“星海基金的最大股东是谁?”
  “星海的大股东是谁不重要。”卡莉瞪着史坦利,一字一句道:“我只告诉你,星海科技是一家总部位于硅谷,并遵守本国法律,其董事长以及超过四分之三的员工都是本国公民,其余人也是拥有合法永久居住权的硅谷企业。”
  “我们与远芯科技的所有合作,都是在互利互惠的基础上,并遵守相关的法律规定所进行的合作,我希望你明白这一点。”
  卡莉说完后便腾地起身,干脆利索地走出办公室。
  有了卡莉的这一通火,文森蒂反而冷静了下来。
  他皱着眉,沉默凝视了这位能源部中以强势著称,还明显带着冷战思维的技术官僚几秒后慢慢道:“史坦利先生,你任意夸大的做派,很有克格勃的风采。”
  史坦利便耸了耸肩,表示自己根本不介意这个评价。
  这时,张汝金突然悠悠道。
  “史坦利先生,我想请教一个问题。”
  “众所周知,铜的电阻小于铝,因此可以在更小的面积上承载更大的电流。而在大规模集成电路中,如果用铜导线工艺替换如今的铝导线,能达到更密集的晶体管设计,提高芯片效能。同时,铜的抗电子迁移能力也优于铝,因此,处理器的可靠性也会得到极大的提高。”
  张汝金知道对方是技术官僚,对这些门儿清,因此并没有刻意解释,而是直接问道:“德州仪器实现了铜导线工艺,阁下认为,该工艺应可以授权给我们吗?”
  史坦利先是怔了一下,随即便是一笑,然后又望向文森蒂:“你们实现了铜导线工艺?”
  文森蒂理都懒得理他。
  张汝金微微一笑:“我们德远半导体,实现了目前最优秀的铜导线工艺,比IBM的优秀许多。”
  史坦利的笑瞬间凝固。
  “而且,我们愿意授权给德仪。”
  *
  *
  EUV联盟的成立,无疑表明了能源部或者说政府的态度。那就是,技术一定要掌握在自己手里。
  苏远山不一样,他就是要要恶心一下那帮人。
  更何况,相比远芯接下来的浸润式技术,铜导线工艺远谈不上核心。
  铜导线工艺只能让德远领先一时,再加上德远现在的产能主要还是集中在YX架构以及闪存上,对于铜导线需求最急切的X86处理器反而因为市场缘故并没有产能,发挥不了太大的作用。
  因此,授权给德仪,让德仪和星海联手,一边恶心AI两家,同时再踩一脚岛上那两家想爬起来的代工厂,是怎么看怎么划算的事。
  事实上,因为远芯长期不懈地坚持挖人,岛上的工程师已经流失了很多。以至于德远科技园这边的小区都被人称为小TW——小区里一大半都是岛上的工程师。
  苏远山从首都直飞沪市。
  ……
  “梁博士,晶圆厂制程工艺我是纯粹的外行。”
  苏远山和梁梦松走在科技园的葡萄长廊下——这是张汝金见远芯这边葡萄路搞得挺好,刻意也copy了一个,再加上可以在葡萄架下听到牛郎织女说话的传说,对岛上这帮工程师的安抚效果意想不到的好。
  苏远山找了个阴凉的地方和梁梦松一道坐下,呵呵笑道:“所以我就不班门弄斧了。”
  “哪里,山总的全领域精通,是世人皆知的。”梁梦松说得很坦然:“我们还是希望山总能够指出方向。”
  “真不敢——不过如果说方向的话,那就只有一条。”
  “德远的制程优先,不用考虑任何其他因素的优先。就算今后上市了,要考虑到这样那样,也要坚定不移地这么走——股票爱买买,不买拉倒,大不了远芯回购。”
  梁梦松舔了一下嘴唇,身上升起一股燥热。
  ——厂里都说自己是个技术狂人,但自己这点狂,在山总面前,还真的只算小儿科了。
  “山总,这可是你说的。”梁梦松笑了起来:“制程推进很花钱的。”
  “花钱怕什么?只要在关键制程上领先一步,一趣÷阁单子就赚回来了。晶圆厂是个赢家通吃的行业,谁掌握了先进制程,谁就掌握了高端芯片代工的定价权。”
  梁梦松点头,他当然清楚,今后的制程推进会越来越难,投入需求也会越来越大——当然回报也肯定足够丰厚。
  但远芯还有个问题。
  “山总,那要是遇到光刻机禁售……怎么办?”
  说到光刻机,苏远山马上便沉默了下来。
  EUV已经如历史轨迹一样成立——ASML这个荷兰小公司,在签下了几乎是卖身契之后终于得以进入了EUV联盟。
  可以想象,在接下来的数年内,ASML将会迅速从技术上同时对尼康佳能进行追赶,并如历史轨迹一般完成EUV的技术构想。
  但历史轨迹又不一样的是,ASML完成对尼康佳能超越的关键团队,目前在苏远山手上。
  “只要国产光刻机仍然在追赶,禁售就不会发生。”苏远山抿着嘴,沉默地望向远处的一栋大楼——那里便是林本坚和赵凯东的联合团队所在的实验室。
  “而且我们一直都与多方的光刻机企业有技术支持和合作,这种交错的关系之下,除非德远受到了明确的针对,否则不会发生。”
  梁梦松不擅长这些“大棋”,他只需要知道,苏远山说不会,那他就不用担心了。
  而且德远目前也确实是尼康的友好客户,在去年WA协定签署后,国内半导体产业都风声鹤唳了许久,尼康为此还特意安排了工期……后面证明,霓国方面除了加强了检查之外,并没有干涉德远的订单。
  “总之走着看,我们技术越有优势,就越有讨价还价的本钱。”说着苏远山站起身,朝着前方的实验室走去。
  ……
  “林叔,赵叔。”
  苏远山见两人同时站在门口,连忙上前握手,梁梦松也上前打了招呼。
  见到跟在苏远山身后的梁梦松,林本坚倒没什么,赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在,按照规矩,负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……
  按照职位算,梁梦松只能排到德远的第五。
  这架势,看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。
  在接待室落座后,苏远山简单问了一下目前的进度——在光源领域,因为林本坚的加入,赵凯东团队进展得很快,他们即将完成193nm的准分子激光光源技术。
  虽然比起国外同行落后了差不多一年多,但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看,193nm将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立EUV联盟,找寻新的出路了。
  当然,对于如何跨越193nm,除了EUV之外,也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在准备攻克157nm的HeF2激光,以及电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、甚至X光等等……
  总之,就是解决的办法一箩筐,放眼望去全是路。
  但具体哪一条是真正的正道,谁也不知道。
  嗯,只有苏远山一个人知道。
  因为这些方案,都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。
  “林叔,赵叔,193nm之后你们的想法是什么?”坐到沙发上,苏远山端起茶杯抿了一口。
  赵凯东和林本坚对视了一眼,随后笑着道:“193nm看样子都要停留很久,你这么着急?”
  “我本来是不着急的。”苏远山很坦白:“主要是老美那边搞EUV,搞得我有点心慌。”
  赵凯东便笑着摇了摇头:“虽然说光源要比光刻机领先很多,但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上,你心慌也没用。”
  “至于说下一代光源,其实我和老林并不十分看好157nm,因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统,非但物镜要重新搞,光刻胶也要重新研制……最主要的是,波长步进提升不大,且投入产出比太高了。”
  “EUV,听起来很不错,有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”
  苏远山便笑道:“有您二位在,咱们这实验室可不是小作坊。”
  “呵呵,不管是不是,但设计师不是有句话吗?摸着石头过河……既然前面有人趟路了,那我们也干脆摸着石头过河就行了。”赵凯东笑道:“intel不是拉了那么多企业吗?你也可以拉一个嘛。”
  苏远山:“……”
  他算是听明白了,赵凯东的意思是,让他也搞个EUV联盟。
  苏远山倒是想搞,可现在要是搞的话,那就不是远芯主导,而是所有人给霓国人打工。
  于是他便望向林本坚。
  “林叔?你有什么妙招没有?”
  (注:虽然有点枯燥,但……总归还是得写。。。)