第126章硅砷混合逻辑板材料升级
作者:独伴 更新:2025-06-29 21:37
到现在己经可以达到1500小时,美国更加贴合林致远的发动机寿命,不过他们现在正在研制,隔热涂层。~g,g.d!b`o`o`k\.¢n*e_t^
但是在我国1968年“硅-砷化镓混合逻辑板”我国电子工业的“黑科技”突破,技术名称与定位。
正式代号,“红旗-1”军用混合集成电路(Hybrid IC),核心创新,全球首款硅(Si)数字逻辑+砷化镓(GaAs)微波射频的混合集成模块。
用途歼-9B战机AESA雷达、导弹制导计算机、超算核心,关键技术突破,硅基数字逻辑部分。?z¨x?s^w\8_./c_o.m-
5μm光刻技术,采用接触式光刻机(仿现实世界1965年GCA公司技术),但通过吴老团队优化的紫外光源+光刻胶配方,将制程从10μm推进到5μm。
缺陷控制,在无尘车间(实际为改造防空洞)中实现每平方厘米≤50个缺陷点,多层互联技术。
使用陶瓷基板+金线键合(参考IBM SLT模块),实现4层金属互联,比单层PCB体积缩小70%。
砷化镓微波部分,外延生长工艺,在硅基板上异质外延砷化镓薄膜(现实世界1970年代才突破),通过分子束外延(MBE)预研设备实现。!暁·税?宅¨ ?追+蕞~新+漳?踕¢
难点硅与砷化镓晶格失配率达4%,通过梯度缓冲层降低缺陷密度,T/R模块集成,每个模块集成功率放大器(PA)+低噪声放大器(LNA)+移相器,尺寸15x15mm(现实世界1980年代水平)。
混合封装与冷却,共形封装设计,硅逻辑板与砷化镓T/R模块,通过金-锡共晶焊固定在氧化铝陶瓷基板上,整体密封在钛合金外壳内。
微通道冷却,外壳内刻蚀0.3mm宽铜微管,燃油以80c入口温度流过后,可维持芯片温度≤110c。
生产流程(1968年工艺),硅晶圆制备,上海冶金所提纯6英寸硅单晶,实际历史1980年代才实现,林致远带来的黑科技设定。
光刻与蚀刻,手动操作接触式光刻机,每片晶圆需2小时完成5μm图形转移,砷化镓异质集成。
在硅晶圆选定区域外延生长GaAs,精度±1μm需显微镜辅助对准,封装测试,每块逻辑板人工键合500根金线,良品率仅35%(军品特供,不计成本)。
对歼-9B战机的实际提升雷达性能,探测距离,从200公里(原PESA)增至240公里(AESA)。
多目标能力,同时跟踪目标从8个提升至24个,电子战优势,可发射灵巧噪声干扰(GaAs器件快速变频能力)。
系统减重航电总重从400kg降至150kg,增加2吨燃油或弹药携带量,技术局限性在1960年代与吴老合作,半导体是林致远最高明的办法。
成本极高,单块逻辑板造价相当于5辆解放卡车1968年比值生产速度慢,每月仅能生产20块合格品,需200人手工操作。
环境敏感,砷化镓部件在湿度>60%时故障率翻倍需恒温恒湿机库。
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但是在我国1968年“硅-砷化镓混合逻辑板”我国电子工业的“黑科技”突破,技术名称与定位。
正式代号,“红旗-1”军用混合集成电路(Hybrid IC),核心创新,全球首款硅(Si)数字逻辑+砷化镓(GaAs)微波射频的混合集成模块。
用途歼-9B战机AESA雷达、导弹制导计算机、超算核心,关键技术突破,硅基数字逻辑部分。?z¨x?s^w\8_./c_o.m-
5μm光刻技术,采用接触式光刻机(仿现实世界1965年GCA公司技术),但通过吴老团队优化的紫外光源+光刻胶配方,将制程从10μm推进到5μm。
缺陷控制,在无尘车间(实际为改造防空洞)中实现每平方厘米≤50个缺陷点,多层互联技术。
使用陶瓷基板+金线键合(参考IBM SLT模块),实现4层金属互联,比单层PCB体积缩小70%。
砷化镓微波部分,外延生长工艺,在硅基板上异质外延砷化镓薄膜(现实世界1970年代才突破),通过分子束外延(MBE)预研设备实现。!暁·税?宅¨ ?追+蕞~新+漳?踕¢
难点硅与砷化镓晶格失配率达4%,通过梯度缓冲层降低缺陷密度,T/R模块集成,每个模块集成功率放大器(PA)+低噪声放大器(LNA)+移相器,尺寸15x15mm(现实世界1980年代水平)。
混合封装与冷却,共形封装设计,硅逻辑板与砷化镓T/R模块,通过金-锡共晶焊固定在氧化铝陶瓷基板上,整体密封在钛合金外壳内。
微通道冷却,外壳内刻蚀0.3mm宽铜微管,燃油以80c入口温度流过后,可维持芯片温度≤110c。
生产流程(1968年工艺),硅晶圆制备,上海冶金所提纯6英寸硅单晶,实际历史1980年代才实现,林致远带来的黑科技设定。
光刻与蚀刻,手动操作接触式光刻机,每片晶圆需2小时完成5μm图形转移,砷化镓异质集成。
在硅晶圆选定区域外延生长GaAs,精度±1μm需显微镜辅助对准,封装测试,每块逻辑板人工键合500根金线,良品率仅35%(军品特供,不计成本)。
对歼-9B战机的实际提升雷达性能,探测距离,从200公里(原PESA)增至240公里(AESA)。
多目标能力,同时跟踪目标从8个提升至24个,电子战优势,可发射灵巧噪声干扰(GaAs器件快速变频能力)。
系统减重航电总重从400kg降至150kg,增加2吨燃油或弹药携带量,技术局限性在1960年代与吴老合作,半导体是林致远最高明的办法。
成本极高,单块逻辑板造价相当于5辆解放卡车1968年比值生产速度慢,每月仅能生产20块合格品,需200人手工操作。
环境敏感,砷化镓部件在湿度>60%时故障率翻倍需恒温恒湿机库。
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